0.05ppm লেজার ইন্টারফেরোমিটার মেজারমেন্ট সিস্টেম 1nm রেজোলিউশন

1. পরিমাপ পদ্ধতি: একক ফ্রিকোয়েন্সি

1. বায়ুমণ্ডলীয় তাপমাত্রা সেন্সর: ±0.1℃ (0-40)℃, রেজোলিউশন: 0.01℃

2. লেজার ফ্রিকোয়েন্সি নির্ভুলতা: 0.05ppm

2. উপাদান তাপমাত্রা সেন্সর: ±0.1℃ (0-40)℃, রেজোলিউশন: 0.01℃

3. ডায়নামিক ক্যাপচার রেট: 50kHz

3. বায়ুমণ্ডলীয় আর্দ্রতা সেন্সর: ±5% (0-95%)

4. ওয়ার্ম আপ সময়: প্রায় 6 মিনিট

4. বায়ুমণ্ডলীয় চাপ সেন্সর: ±0.1kPa (65～115)kPa

5. অপারেটিং তাপমাত্রা: (0-40)℃

6. পরিবেশের তাপমাত্রা: (0-40) ℃, আর্দ্রতা: 0-95%

7. স্টোরেজ তাপমাত্রা: -20℃-70℃

1. পরিমাপ পরিসীমা: (0-80) মি

1. অক্ষীয় পরিসর: (0-15) মি

2. পরিমাপের নির্ভুলতা: 0.5ppm (0-40)℃

2. পরিমাপ পরিসীমা: ±10°

3. পরিমাপ রেজোলিউশন: 1nm

3. নির্ভুলতা: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R হল মান নির্দেশ করে, একক: ″;M দৈর্ঘ্য মি এ পরিমাপ করা হয়)

4. সর্বোচ্চ পরিমাপ গতি: 4m/s

4. পরিমাপ রেজোলিউশন: 0.1″

1. অক্ষীয় পরিসর: (0-15) মি

2. সমতলতা পরিমাপ পরিসীমা: ±1.5 মিমি

3. নির্ভুলতা: ±(0.2%R+0.02M2) μm (R হল μm-এ মান নির্দেশ করে; M দৈর্ঘ্য m এ পরিমাপ করা হয়)

4. সাবস্ট্রেট আকার: 180 মিমি নিয়মিত, 360 মিমি নিয়মিত

5. পরিমাপ রেজোলিউশন: 0.1μm

সংক্ষিপ্ত সোজাতা

(0.1-4)মি

±3.0 মিমি

±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm

0.01μm

দীর্ঘ সরলতা

(1-20)মি

±3.0 মিমি

±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm

0.01μm

দ্রষ্টব্য: R μm এর মান নির্দেশ করছে;M কে মিটারে দৈর্ঘ্য পরিমাপ করা হয়

সংক্ষিপ্ত সোজাতা

(0.1-3)মি

±3.0 মিমি

±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m

0.01μm

দীর্ঘ সরলতা

(1-15)মি

±3.0 মিমি

±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

0.01μm

দ্রষ্টব্য: R μm এর মান নির্দেশ করছে;M কে মিটারে দৈর্ঘ্য পরিমাপ করা হয়